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一文為你解釋何為微波真空等離子清洗機:
微波真空等離子清洗機的原理是利用微波能量在真空環(huán)境中激發(fā)氣體分子,產(chǎn)生等離子體,再利用等離子體中的活性粒子(如離子、電子、自由基等)與材料表面發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng),從而實現(xiàn)對材料表面的清洗、刻蝕、活化等處理。
在真空腔內(nèi),通過微波發(fā)生器(通常工作頻率為2.45 GHz)向腔內(nèi)注入微波能量,激發(fā)充入的工藝氣體(如氬氣、氧氣、氫氣等)電離,形成高密度等離子體。
等離子體中的高能離子和電子轟擊材料表面,使表面的污染物、雜質(zhì)等被濺射去除。等離子體中的活性自由基與材料表面的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成易揮發(fā)的產(chǎn)物,從而實現(xiàn)清洗。
震儀股份的微波真空等離子清洗機常見的領(lǐng)域有如下:
1、半導(dǎo)體制造:用于去除光刻膠、清潔晶圓表面、刻蝕硅、二氧化硅、氮化硅、金屬互連層等,增強表面的可靠性和焊接質(zhì)量。
2、光電子與顯示器:在液晶顯示器(LCD),觸摸屏油墨面需要與其他部件進行貼合、觸摸面則需要進行鍍膜,真空離子可以同時清洗兩個面,提高其貼合力,避免貼補不牢,鍍層易損易掉等問題;
3、電子行業(yè):用于線路板的清潔,攝像頭模組等離子清洗活化,攝像頭模組需要進行貼合、密封,真空等離子能對表面進行全面清洗后,有效的活化提高表面附著力,貼合更牢靠;
4、生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域:用于對醫(yī)療器械表面的處理,可以增強表面的相容性。
5、光學(xué)器件制造:用于清潔各類光學(xué)元件。
6、金屬行業(yè)等離子清洗活化:部分金屬制品表面需鍍層,未經(jīng)過處理表面貼合力不夠,導(dǎo)致鍍層不牢、不均勻等現(xiàn)象等離子處理可增加金屬表面附著力、提高表面均勻性,避免鍍層不均勻、易脫落等問題。
綜上所述,微波真空等離子清洗機具備的優(yōu)點有:
1、高電離度:微波等離子體的電離度高,活性粒子數(shù)量多,清洗效果顯著,速度快,效率高。
2、高效清洗:微波等離子清洗機的清洗速率高,不需要使用化學(xué)藥劑,無廢水產(chǎn)生,符合環(huán)保要求,適合大規(guī)模生產(chǎn)。
3、低溫處理:整個過程可以在較低溫度下進行,避免對溫度敏感材料的損傷。
4、可精確控制清洗范圍和深度。