等離子清洗機是一種常見的表面清洗設備，通過利用等離子體的化學反應和物理作用來清除表面污染物。其原理如下：

　　產生等離子體：等離子清洗機通過加入高頻電場激發氣體，產生包含電子、激發態離子以及原子團自由基等多種活性粒子的等離子體射流。等離子體是由帶正電荷和帶負電荷的電離粒子、自由基和電子組成的高度活躍的氣體。

　　等離子體與污染物接觸：等離子體通過反應和碰撞，與表面附著的污染物發生物理和化學作用。例如，等離子體中的自由基可以氧化污染物，將其分解成無害的氣體。

　　清除污染物：等離子清洗機通過控制等離子體的能量和濃度，將污染物徹底清除。等離子清洗機通常會設置不同的清洗程序和參數，以適應不同材料和污染物的清洗需求。

　　等離子清洗機的優點包括清洗效果好、清洗速度快、對材料的損傷小等。它廣泛應用于半導體、光電、航空航天等行業的制造和清洗工藝中。